|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
99662 |
| 005 |
20231031111819.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\107007
|
| 090 |
|
|
|a 99662
|
| 100 |
|
|
|a 20060710d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|e спец. 05.09.02
|e спец. 01.04.04
|f Ли Цзень Фень
|g Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН); науч. рук. Г. Е. Ремнев
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 18 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Защита сост. 3.07.2006 г.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 17-18 (9 назв.).
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\110183
|t Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|f Ли Цзень Фень
|g Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН); науч. рук. Г. Е. Ремнев
|c Томск
|n Б.и.
|d 2006
|a Ли Цзень Фень, 0
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки арсенида галия
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсные мощные ионные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a воздействие
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a абляционная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 675 |
|
|
|a 539.216.2(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 05.09.02
|2 oksvnk
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.04
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Ли Цзень Фень
|
| 702 |
|
1 |
|a Ремнев
|b Г. Е.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Геннадий Ефимович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\3249
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060710
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150608
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
