Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Ли Цзень Фень
Institution som forfatter:	Томский политехнический университет (ТПУ) Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН)
Andre forfattere:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Summary:	Защита сост. 3.07.2006 г.
Sprog:	russisk
Udgivet:	Томск, [Б. и.], 2006
Fag:	тонкие пленки получение пленки арсенида галия импульсные мощные ионные пучки воздействие осаждение абляционная плазма авторефераты диссертаций
Format:	Bog
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99662

Lignende værker