Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04

Бібліографічні деталі
Автор:	Ли Цзень Фень
Співавтор:	Томский политехнический университет (ТПУ) Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН)
Інші автори:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Резюме:	Защита сост. 3.07.2006 г.
Мова:	Російська
Опубліковано:	Томск, [Б. и.], 2006
Предмети:	тонкие пленки получение пленки арсенида галия импульсные мощные ионные пучки воздействие осаждение абляционная плазма авторефераты диссертаций
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99662

Схожі ресурси