Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04

Bibliographic Details
Main Author:	Ли Цзень Фень
Corporate Author:	Томский политехнический университет (ТПУ) Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН)
Other Authors:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (научный руководитель)
Summary:	Защита сост. 3.07.2006 г.
Language:	Russian
Published:	Томск, [Б. и.], 2006
Subjects:	тонкие пленки получение пленки арсенида галия импульсные мощные ионные пучки воздействие осаждение абляционная плазма авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99662

Description
Physical Description:	18 с. ил.
Summary:	Защита сост. 3.07.2006 г.

Similar Items