Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Bibliographic Details
Main Author:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Other Authors:	Данилин Б. С. Борис Степанович, Кузнецов В. И. Владимир Иванович
Language:	Russian
Published:	Москва, Радио и связь, 1983
Series:	Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36
Subjects:	электроника микроэлектроника вакуумно-плазменное травление газоразрядная плазма химические процессы ионно-лучевое травление ионно-плазменное травление плазменное травление радикальное травление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221

Similar Items

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Ходыревская Ю. И.
Published: (2012)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Published: (2011)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
by: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Published: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Высшая школа, 1987)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
by: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1982)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
by: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Published: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Published: (Москва, Юрайт, 2016)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2018)

Травление титана и его сплавов
by: Усова В.В. Валентина Васильевна
Published: (Москва, Металлургия, 1984)

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников: сборник научных трудов
Published: (Новосибирск, Наука, 1988)

Ионное травление микроструктур
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Радио, 1979)

Формирование функциональных слоев учебное пособие
by: Панфилов Ю. В.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Инженерия поверхности деталей
by: Суслов А. Г.
Published: (Москва, Машиностроение, 2008)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Published: (Москва, Учеба, 2007)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2010)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Травление полупроводников: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1965)

Травление кристаллов: теория, эксперимент, применение: пер. с англ.
by: Сангвал К. Кешра
Published: (Москва, Мир, 1990)

Химическое травление титана; Новые материалы. Создание, структура, свойства - 2009
by: Крикуненко А. С. Анна Сергеевна
Published: (2009)

Комплекс по ионно-плазменной и ионно-пучковой обработке; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Пукелова Н. П. Наталья Павловна
Published: (2009)

Полирование, травление и обезжиривание металлов
by: Грилихес С. Я. Семен Яковлевич
Published: (Ленинград, Машиностроение, 1971)

Химическое травление титана; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
by: Крикуненко А. С. Анна Сергеевна
Published: (2009)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
by: Боброва Ю. С.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Оптимальное управление нелинейными процессами в задачах математической физики: монография
by: Муравей Л. А. Леонид Андреевич
Published: (Москва, Изд-во МАИ, 2018)

Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Published: (2009)

Металлографическое травление металлов и сплавов: справочник
by: Баранова Л. В. Лариса Владимировна
Published: (Москва, Металлургия, 1986)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода; Водород. Технологии. Будущее
Published: (2021)

Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
by: Владимирова Л. Н.
Published: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Травление металлов: [учебное пособие]
by: Ямпольский А. М. Анатолий Михайлович
Published: (Москва, Металлургия, 1980)

Проблемы субмикронной технологии
Published: (Москва, Наука, 1993)

Травление углеродных покрытий в аргон-водородной плазме высокочастотного разряда; Современные проблемы машиностроения
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2020)

Травление титановой подложки перед нанесением биосовместимых покрытий на основе оксинитрида титана; Новые материалы
by: Павлюк У. В. Ульяна Валерьевна
Published: (2017)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Изучение модифицированной структуры полимеров методом травления кислородной плазмой; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Published: (2011)

Вып. 148, кн. 20 : Некоторые вопросы катодной электроники; Труды Среднеазиатского Государственного Университета им. В. Л. Ленина
Published: (ташкент, Изд-во САГУ, 1959)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
by: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Published: (2016)