Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Tác giả khác:	Данилин Б. С. Борис Степанович, Кузнецов В. И. Владимир Иванович
Ngôn ngữ:	Tiếng Nga
Được phát hành:	Москва, Радио и связь, 1983
Loạt:	Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36
Những chủ đề:	электроника микроэлектроника вакуумно-плазменное травление газоразрядная плазма химические процессы ионно-лучевое травление ионно-плазменное травление плазменное травление радикальное травление
Định dạng:	Sách
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221

Những quyển sách tương tự

Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
Bằng: Ходыревская Ю. И.
Được phát hành: (2012)

Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
Bằng: Владимирова Л. Н.
Được phát hành: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
Bằng: Данилин Б. С. Борис Степанович
Được phát hành: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
Bằng: Владимирова Л. Н.
Được phát hành: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
Được phát hành: (2011)

Физико-химические процессы в технологии РЭА: учебник для вузов
Bằng: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Được phát hành: (Москва, Высшая школа, 1987)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
Bằng: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Được phát hành: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Фото-, электроно- и рентгенорезисты
Bằng: Боков Ю. С. Юрий Сергеевич
Được phát hành: (Москва, Радио и связь, 1982)

Ионно-плазменная обработка материалов: курс лекций
Bằng: Кузнецов Г. Д. Геннадий Дмитриевич
Được phát hành: (Москва, Изд-во МИСиС, 2008)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии: учебник для бакалавриата и магистратуры
Được phát hành: (Москва, Юрайт, 2016)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Bằng: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Được phát hành: (Москва, Техносфера, 2018)

Травление титана и его сплавов
Bằng: Усова В.В. Валентина Васильевна
Được phát hành: (Москва, Металлургия, 1984)

Современные проблемы физической химии поверхности полупроводников: сборник научных трудов
Được phát hành: (Новосибирск, Наука, 1988)

Ионное травление микроструктур
Bằng: Данилин Б. С. Борис Степанович
Được phát hành: (Москва, Радио, 1979)

Химическое травление титана; Новые материалы. Создание, структура, свойства - 2009
Bằng: Крикуненко А. С. Анна Сергеевна
Được phát hành: (2009)

Формирование функциональных слоев учебное пособие
Bằng: Панфилов Ю. В.
Được phát hành: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы: лабораторный практикум
Được phát hành: (Москва, Учеба, 2007)

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Bằng: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Được phát hành: (Москва, Техносфера, 2010)

Травление полупроводников: пер. с англ.
Được phát hành: (Москва, Мир, 1965)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Bằng: Родионов Ю. А.
Được phát hành: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Травление кристаллов: теория, эксперимент, применение: пер. с англ.
Bằng: Сангвал К. Кешра
Được phát hành: (Москва, Мир, 1990)

Полирование, травление и обезжиривание металлов
Bằng: Грилихес С. Я. Семен Яковлевич
Được phát hành: (Ленинград, Машиностроение, 1971)

Комплекс по ионно-плазменной и ионно-пучковой обработке; Современные техника и технологии; Т. 1
Bằng: Пукелова Н. П. Наталья Павловна
Được phát hành: (2009)

Химическое травление титана; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
Bằng: Крикуненко А. С. Анна Сергеевна
Được phát hành: (2009)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
Bằng: Боброва Ю. С.
Được phát hành: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Оптимальное управление нелинейными процессами в задачах математической физики: монография
Bằng: Муравей Л. А. Леонид Андреевич
Được phát hành: (Москва, Изд-во МАИ, 2018)

Металлографическое травление металлов и сплавов: справочник
Bằng: Баранова Л. В. Лариса Владимировна
Được phát hành: (Москва, Металлургия, 1986)

Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Được phát hành: (2009)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода; Водород. Технологии. Будущее
Được phát hành: (2021)

Травление металлов: [учебное пособие]
Bằng: Ямпольский А. М. Анатолий Михайлович
Được phát hành: (Москва, Металлургия, 1980)

Проблемы субмикронной технологии
Được phát hành: (Москва, Наука, 1993)

Травление углеродных покрытий в аргон-водородной плазме высокочастотного разряда; Современные проблемы машиностроения
Bằng: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Được phát hành: (2020)

Особенности радикального травления полупроводниковых материалов в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
Bằng: Владимирова Л. Н.
Được phát hành: (Воронеж, ВГУ, 2014)

Травление титановой подложки перед нанесением биосовместимых покрытий на основе оксинитрида титана; Новые материалы
Bằng: Павлюк У. В. Ульяна Валерьевна
Được phát hành: (2017)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Được phát hành: (Томск, Изд-во ТПУ, 2014)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей: учебное пособие
Được phát hành: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Изучение модифицированной структуры полимеров методом травления кислородной плазмой; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Được phát hành: (2011)

Вып. 148, кн. 20 : Некоторые вопросы катодной электроники; Труды Среднеазиатского Государственного Университета им. В. Л. Ленина
Được phát hành: (ташкент, Изд-во САГУ, 1959)

Полимеризация в плазме: пер. с англ.
Bằng: Ясуда Х.
Được phát hành: (Москва, Мир, 1988)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
Bằng: Данилин Б. С. Борис Степанович
Được phát hành: (Москва, Энергоатомиздат, 1989)