Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
| Autor principal: | |
|---|---|
| Otros Autores: | , |
| Lenguaje: | ruso |
| Publicado: |
Москва, Радио и связь, 1983
|
| Colección: | Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36 |
| Materias: | |
| Formato: | Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221 |