Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | , |
| 語言: | 俄语 |
| 出版: |
Москва, Радио и связь, 1983
|
| 叢編: | Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36 |
| 主題: | |
| 格式: | 圖書 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221 |