• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Erweitert
  • Плазмохимическое и ионно-химич...
  • Zitieren
  • SMS versenden
  • Als E-Mail versenden
  • Drucken
  • Datensatz exportieren
    • Exportieren nach RefWorks
    • Exportieren nach EndNoteWeb
    • Exportieren nach EndNote
  • Persistenter Link
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Weitere Verfasser: Данилин Б. С. Борис Степанович, Кузнецов В. И. Владимир Иванович
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Москва, Радио и связь, 1983
Schriftenreihe:Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36
Schlagworte:
электроника
микроэлектроника
вакуумно-плазменное травление
газоразрядная плазма
химические процессы
ионно-лучевое травление
ионно-плазменное травление
плазменное травление
радикальное травление
Format: Buch
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221
  • Exemplare
  • Beschreibung
  • Ähnliche Einträge
  • Internformat

Ähnliche Einträge

  • Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления
    von: Ходыревская Ю. И.
    Veröffentlicht: (2012)
  • Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
    von: Данилин Б. С. Борис Степанович
    Veröffentlicht: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)
  • Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
    von: Владимирова Л. Н.
    Veröffentlicht: (Воронеж, ВГУ, 2014)
  • Т. 2: Технологические аспекты
    Veröffentlicht: (2011)
  • Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
    von: Владимирова Л. Н.
    Veröffentlicht: (Воронеж, ВГУ, 2014)