Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Москва, Радио и связь, 1983
|
| Schriftenreihe: | Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36 |
| Schlagworte: | |
| Format: | Buch |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221 |