Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

書誌詳細
第一著者:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
その他の著者:	Данилин Б. С. Борис Степанович, Кузнецов В. И. Владимир Иванович
言語:	ロシア語
出版事項:	Москва, Радио и связь, 1983
シリーズ:	Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36
主題:	электроника микроэлектроника вакуумно-плазменное травление газоразрядная плазма химические процессы ионно-лучевое травление ионно-плазменное травление плазменное травление радикальное травление
フォーマット:	図書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221

類似資料