Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Tác giả khác:	Данилин Б. С. Борис Степанович, Кузнецов В. И. Владимир Иванович
Ngôn ngữ:	Tiếng Nga
Được phát hành:	Москва, Радио и связь, 1983
Loạt:	Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36
Những chủ đề:	электроника микроэлектроника вакуумно-плазменное травление газоразрядная плазма химические процессы ионно-лучевое травление ионно-плазменное травление плазменное травление радикальное травление
Định dạng:	Sách
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221

Những quyển sách tương tự