Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Drugi avtorji: | , |
| Jezik: | ruščina |
| Izdano: |
Москва, Радио и связь, 1983
|
| Serija: | Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36 |
| Teme: | |
| Format: | MixedMaterials Knjiga |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221 |