Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | , |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
Москва, Радио и связь, 1983
|
| Serie: | Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36 |
| Soggetti: | |
| Natura: | Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221 |