• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Avanzata
  • Плазмохимическое и ионно-химич...
  • Citazione
  • Invia SMS
  • Invia email
  • Stampa
  • Esporta il record
    • Esporta a RefWorks
    • Esporta a EndNoteWeb
    • Esporta a EndNote
  • PLink permanente
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Altri autori: Данилин Б. С. Борис Степанович, Кузнецов В. И. Владимир Иванович
Lingua:russo
Pubblicazione: Москва, Радио и связь, 1983
Serie:Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36
Soggetti:
электроника
микроэлектроника
вакуумно-плазменное травление
газоразрядная плазма
химические процессы
ионно-лучевое травление
ионно-плазменное травление
плазменное травление
радикальное травление
Natura: Libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221
  • Posseduto
  • Descrizione
  • Documenti analoghi
  • MARC21

Documenti analoghi

  • Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
    di: Владимирова Л. Н.
    Pubblicazione: (Воронеж, ВГУ, 2014)
  • Получение меза-структур методом реактивного ионно-плазменного травления; Перспективы развития фундаментальных наук
    di: Ходыревская Ю. И.
    Pubblicazione: (2012)
  • Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
    di: Данилин Б. С. Борис Степанович
    Pubblicazione: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)
  • Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов
    di: Владимирова Л. Н.
    Pubblicazione: (Воронеж, ВГУ, 2014)
  • Т. 2: Технологические аспекты; Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий
    Pubblicazione: (2011)