|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
99221 |
| 005 |
20231031111618.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 83-11924
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\106447
|
| 090 |
|
|
|a 99221
|
| 100 |
|
|
|a 20060629d1983 k y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
|f В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 126 с.
|c ил.
|d 20 см
|
| 225 |
1 |
|
|a Массовая библиотека инженера "Электроника"
|v Вып. 36
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 121-135.
|
| 610 |
1 |
|
|a электроника
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумно-плазменное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a газоразрядная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a химические процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-лучевое травление
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a радикальное травление
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049
|z rus
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Киреев
|b В. Ю.
|g Валерий Юрьевич
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Кузнецов
|b В. И.
|g Владимир Иванович
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950704
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060629
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150506
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Физика и химия газоразрядной плазмы
|
| 900 |
|
|
|a Плазмохимия
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
