Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Радио и связь, 1983
|
| Series: | Массовая библиотека инженера "Электроника" Вып. 36 |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99221 |
| Physical Description: | 126 с. ил. |
|---|