Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич, Данилин Б. С. Борис Степанович, & Кузнецов В. И. Владимир Иванович. (1983). Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. Москва, Радио и связь, 1983.
Chicago Style (17th ed.) CitationКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич, Данилин Б. С. Борис Степанович, and Кузнецов В. И. Владимир Иванович. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. Москва, Радио и связь, 1983, 1983.
MLA (9th ed.) CitationКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич, et al. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. Москва, Радио и связь, 1983, 1983.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.