|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
98792 |
| 005 |
20231031111428.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\105923
|
| 090 |
|
|
|a 98792
|
| 100 |
|
|
|a 20060622d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drbn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения
|b Электронный ресурс
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|f И. А. Рябчиков
|g Томский политехнический университет; науч. рук. Ю. П. Усов
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (495 Kb)
|
| 230 |
|
|
|a Электронные текстовые данные (1 файл : 495 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\103955
|t Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 01.04.20
|f И. А. Рябчиков
|g Томский политехнический университет; науч. рук. Ю. П. Усов
|c Томск
|n Б.и.
|d 2006
|p 21 с.
|a Рябчиков, Игорь Александрович
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные потоки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a методы
|
| 610 |
1 |
|
|a проводящие мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a диэлектрические мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a короткие потенциалы смещения
|
| 610 |
1 |
|
|a биполярные импульсы смещения
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.322:539(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.20
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b И. А.
|g Игорь Александрович
|
| 702 |
|
1 |
|a Усов
|b Ю. П.
|c российский ученый, электротехник
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1937-
|g Юрий Петрович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19875
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060622
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151116
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2006/17.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
