Формирование ионных потоков из плазмы короткоимпульсными потенциалами смещения, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Рябчиков И. А. Игорь Александрович
Corporate Author:	Томский политехнический университет
Other Authors:	Усов Ю. П. Юрий Петрович (727)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Published:	Томск, [Б. и.], 2006
Subjects:	физика плазма ионные потоки ионная имплантация оборудование методы проводящие мишени диэлектрические мишени короткие потенциалы смещения биполярные импульсы смещения авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ электронный ресурс
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2006/17.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=98792

Internet