Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем, учебное пособие
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Résumé: | Приведены базовые техпроцессы изготовления элементов полупроводниковых интегральных схем. Рассмотрен контроль качества кристаллов ИС. Предназначено для студентов дневной формы обучения по специальностям 200100 "Приборостроение", 221700 "Стандартизация и метрология", 210400 и 210601 "Радиоэлектронные системы", а также для студентов вечернего факультета при курсовом и дипломном проектировании Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки |
| Publié: |
Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2016
|
| Accès en ligne: | https://e.lanbook.com/book/98208 https://e.lanbook.com/img/cover/book/98208.jpg |
| Format: | Électronique Livre |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 98208 | ||
| 010 | |a 978-5-85546-944-8 | ||
| 100 | |a 20200604d2016 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем |b Электронный ресурс |f Жаркой М. Ф. |e учебное пособие | |
| 210 | |a Санкт-Петербург |b Санкт-Петербург |c БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова |d 2016 | ||
| 215 | |a 123 с. | ||
| 330 | |a Приведены базовые техпроцессы изготовления элементов полупроводниковых интегральных схем. Рассмотрен контроль качества кристаллов ИС. Предназначено для студентов дневной формы обучения по специальностям 200100 "Приборостроение", 221700 "Стандартизация и метрология", 210400 и 210601 "Радиоэлектронные системы", а также для студентов вечернего факультета при курсовом и дипломном проектировании | ||
| 333 | |a Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки | ||
| 675 | |a 621.3.049.77-047.84 | ||
| 700 | 1 | |a Жаркой |b М. Ф. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20200604 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/98208 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/98208.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/98208.jpg | ||