Технологические основы производства полупроводниковых интегральных схем, учебное пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Жаркой М. Ф.
Summary:	Приведены базовые техпроцессы изготовления элементов полупроводниковых интегральных схем. Рассмотрен контроль качества кристаллов ИС. Предназначено для студентов дневной формы обучения по специальностям 200100 "Приборостроение", 221700 "Стандартизация и метрология", 210400 и 210601 "Радиоэлектронные системы", а также для студентов вечернего факультета при курсовом и дипломном проектировании Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки
Published:	Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2016
Online Access:	https://e.lanbook.com/book/98208 https://e.lanbook.com/img/cover/book/98208.jpg
Format:	Electronic Book

Internet