MEMS Applications in Electronics and Engineering
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Резюме: | online resource (278 pages) text |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Melville, New York
AIP Publishing
2023
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://doi.org/10.1063/9780735424395 |
| Формат: | Електронний ресурс Книга |