Micro Electro Mechanical Systems
| Yhteisötekijä: | |
|---|---|
| Muut tekijät: | |
| Yhteenveto: | text |
| Kieli: | englanti |
| Julkaistu: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
|
| Sarja: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| Aiheet: | |
| Linkit: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| Aineistotyyppi: | Elektroninen Kirja |