Micro Electro Mechanical Systems
| Tác giả của công ty: | |
|---|---|
| Tác giả khác: | |
| Tóm tắt: | text |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Anh |
| Được phát hành: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
|
| Loạt: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| Định dạng: | Điện tử Sách |
Mục lục:
- Device Physics
- Scaling effect
- Sensors
- Actuators
- RF MEMS
- Micro fluid and bio MEMS
- Integration techniques
- Micro systems.