Micro Electro Mechanical Systems
| Korporacja: | |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | |
| Streszczenie: | text |
| Język: | angielski |
| Wydane: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
|
| Seria: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| Format: | Elektroniczne Książka |
Spis treści:
- Device Physics
- Scaling effect
- Sensors
- Actuators
- RF MEMS
- Micro fluid and bio MEMS
- Integration techniques
- Micro systems.