Micro Electro Mechanical Systems
| Korporativní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | |
| Shrnutí: | text |
| Jazyk: | angličtina |
| Vydáno: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
|
| Edice: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| Médium: | Elektronický zdroj Kniha |
Obsah:
- Device Physics
- Scaling effect
- Sensors
- Actuators
- RF MEMS
- Micro fluid and bio MEMS
- Integration techniques
- Micro systems.