Micro Electro Mechanical Systems
| Autor corporatiu: | |
|---|---|
| Altres autors: | |
| Sumari: | text |
| Idioma: | anglès |
| Publicat: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
|
| Col·lecció: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| Matèries: | |
| Accés en línia: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| Format: | Electrònic Llibre |
Taula de continguts:
- Device Physics
- Scaling effect
- Sensors
- Actuators
- RF MEMS
- Micro fluid and bio MEMS
- Integration techniques
- Micro systems.