Micro Electro Mechanical Systems
| 団体著者: | |
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| その他の著者: | |
| 要約: | text |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
Singapore :
Springer Nature Singapore : Imprint: Springer,
2017.
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| シリーズ: | Micro/Nano Technologies,
2 |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | https://doi.org/10.1007/978-981-10-2798-7 |
| フォーマット: | 電子媒体 eBook |
目次:
- Device Physics
- Scaling effect
- Sensors
- Actuators
- RF MEMS
- Micro fluid and bio MEMS
- Integration techniques
- Micro systems.