Ионное травление микроструктур

Ионное травление микроструктур

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Άλλοι συγγραφείς:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Γλώσσα:	Ρωσικά
Έκδοση:	Москва, Радио, 1979
Σειρά:	Массовая библиотека инженера "Электроника" вып. 21
Θέματα:	микроэлектронные схемы интегральные схемы производство микроструктуры газы ионное травление откачка системы дефекты
Μορφή:	Βιβλίο
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=95563

Παρόμοια τεκμήρια

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
από: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1983)

Технологический контроль размеров в микроэлектронном производстве
από: Быстров Ю. А. Юрий Александрович
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1988)

Плазменная технология в производстве СБИС: пер. с англ.
Έκδοση: (Москва, Мир, 1987)

Ионное легирование полупроводников (Кремний и германий): пер. с англ.
από: Мейер Дж. Джеймс
Έκδοση: (Москва, Мир, 1973)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода; Водород. Технологии. Будущее
Έκδοση: (2021)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем
από: Данилин Б. С. Борис Степанович
Έκδοση: (Москва, Энергия, 1972)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: учебное пособие для вузов
από: Галперин В. А. Вячеслав Александрович
Έκδοση: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010)

Тонкопленочная технология: пер. с англ.
από: Берри Р.
Έκδοση: (Москва, Энергия, 1972)

Химическая обработка и фотолитология в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: учебное пособие
από: Мокеев О. К. Олег Константинович
Έκδοση: (Москва, Высшая школа, 1979)

Проблемы субмикронной технологии
Έκδοση: (Москва, Наука, 1993)

Микроэлектроника для всех. Введение в мир интегральных микросхем: основы функционирования, технология изготовления и применение: пер. с нем.
από: Эндерлайн Р. Рольф
Έκδοση: (Москва, Мир, 1989)

Травление кристаллов: теория, эксперимент, применение: пер. с англ.
από: Сангвал К. Кешра
Έκδοση: (Москва, Мир, 1990)

Диэлектрики интегральных схем
από: Шнаревич Е. И. Елена Ивановна
Έκδοση: (Москва, Энергия, 1975)

Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования; Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем
Έκδοση: (2009)

Пленочные токопроводящие системы СБИС
από: Достанко А. П. Анатолий Павлович
Έκδοση: (Минск, Вышэйшая школа, 1989)

Травление титана и его сплавов
από: Усова В.В. Валентина Васильевна
Έκδοση: (Москва, Металлургия, 1984)

Research of reactive ion and plasma-chemical etching effect on diamond coating surface morphology; AIP Conference Proceedings; Vol. 1772 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2016)
από: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Έκδοση: (2016)

Проектирование многофункциональных интегральных схем
Έκδοση: (Киев, Технiка, 1984)

Электронные часы на МОП интегральных микросхемах: справочное пособие
από: Бирюков С. А. Сергей Алексеевич
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1993)

Операционные усилители и линейные интегральные схемы: пер. с англ.
από: Кофлин Р. Ф.
Έκδοση: (Москва, Мир, 1979)

Микроэлектроника в электроприборостроении: сборник научных трудов
Έκδοση: (Ленинград, ВНИИЭП, 1989)

Ч. 2; Логические ИС. КР 1533, КР 1554
Έκδοση: (1993)

Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники: учебное пособие
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1988)

Кн. 3: Рабочие станции в проектировании БИС; Автоматизация проектирования БИС
Έκδοση: (1990)

Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств: учебник для среднего специального образования
από: Борисенко А. С. Александр Сергеевич
Έκδοση: (Москва, Машиностроение, 1983)

Ионное азотирование инструментальных сталей в тлеющем разряде; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
από: Яковлев А. В.
Έκδοση: (2009)

Ч. 2 : Логические интегральные схемы; Анализ и расчет интегральных схем
Έκδοση: (1969)

Аналоговые функциональные устройства на основе ОУ: учебное пособие
από: Серов Владимир Никитович
Έκδοση: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1994)

Транзисторно-транзисторные логические интегральные схемы и их применение: пер. с англ.
από: Скарлетт Дж.
Έκδοση: (Москва, Мир, 1974)

Интегральные микросхемы: учебное пособие
από: Агаханян Т. М. Татевос Мамиконович
Έκδοση: (Москва, Энергоатомиздат, 1983)

Проектирование матричных сверхбольших интегральных схем
από: Михайлов С. А. Сергей Анатольевич
Έκδοση: (Киев, Тэхника, 1991)

Ч. 1; Логические ИС. КР 1533, КР 1554
Έκδοση: (1993)

Справочник по интегральным микросхемам
Έκδοση: (Москва, Энергия, 1977)

Цифровые схемы на базе разностных элементов
από: Шагурин И. И. Игорь Иванович
Έκδοση: (Москва, Радио и связь, 1992)

Микроэлектронные устройства СВЧ
Έκδοση: (Москва, Высшая школа, 1988)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы: учебник для бакалавриата и магистратуры
Έκδοση: (Москва, Юрайт, 2016)

Ионное гидрирование
Έκδοση: (Москва, Химия, 1979)

Автоматическая сборка ИС. Технологический процесс. Оборудование. Управление. Техническое зрение. Привод.: справочное пособие
από: Онегин Е. Е. Евгений Евгеньевич
Έκδοση: (Минск, Вышэйшая школа, 1990)

Интегральная электроника сверхвысоких частот: учебное пособие
από: Федотов Я. А. Яков Андреевич
Έκδοση: (Москва, МИРЭА, 1990)

Схемотехника и автоматизация проектирования линейных интегральных схем с инжекционным питанием
από: Крюков Юрий Григорьевич
Έκδοση: (Воронеж, Изд-во Воронеж. ун-та, 1990)