Ионное травление микроструктур
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Радио, 1979
|
| Series: | Массовая библиотека инженера "Электроника" вып. 21 |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=95563 |