|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
95563 |
| 005 |
20231031110207.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\102325
|
| 090 |
|
|
|a 95563
|
| 100 |
|
|
|a 20060427d1979 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионное травление микроструктур
|f Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио
|d 1979
|
| 215 |
|
|
|a 103 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Массовая библиотека инженера "Электроника"
|v вып. 21
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 95-102
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a микроструктуры
|
| 610 |
1 |
|
|a газы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное травление
|
| 610 |
1 |
|
|a откачка
|
| 610 |
1 |
|
|a системы
|
| 610 |
1 |
|
|a дефекты
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77.002
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Киреев
|b В. Ю.
|g Валерий Юрьевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060427
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150522
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
