Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий учеб.-метод. пособие

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий, учеб.-метод. пособие

Bibliographic Details
Main Author:	Рабинович О. И.
Other Authors:	Крутогин Д. Г., Подгорная С. В., Маренкин С. Ф.
Summary:	В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ. Книга из коллекции МИСИС - Химия
Published:	Москва, МИСИС, 2015
Subjects:	процессы молекулярнолучевой эпитаксии механизмы эпитаксиального роста тонких пленок моделирование процесса методы контроля установках молекулярнолучевой эпитаксии аппаратурное оформление процесса физические процессы исследование релаксации напряжений гетероэпитаксии моделирование процесса получения пленок поликристаллического кремния осаждением из газовой фазы химические методы получения пленок восстановление тетрахлорида кремния водородом восстановление трихлорсилана водородом конструкция реактора определение скорости осаждения пленки поликремния структура пленок поликремния моделирование процесса оптимизации размера зерна удельного сопротивления пленки поликристаллического кремния диффузионная теория роста зерна поликремния при термообработке расчет концентраций вакансий эффекты высокого уровня легирования теоретическое введение выращивание кристаллов из расплава подготовка подложек эвтектическая композиция insb+mnsb жидкофазной эпитаксии гетероструктура ферромагнетик полупроводник методы нормальной направленной кристаллизации система insb-mnsb подготовка ампул и подложек для жфэ изучение процессов молекулярнолучевой эпитаксии
Online Access:	https://e.lanbook.com/book/93627 https://e.lanbook.com/img/cover/book/93627.jpg
Format:	Electronic Book

Internet

https://e.lanbook.com/book/93627
https://e.lanbook.com/img/cover/book/93627.jpg