Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике

Bibliographic Details
Corporate Author:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова (ИХС)
Other Authors:	Борисенко А. И. Анатолий Исидорович, Новиков В. В., Приходько Н. Е., Митникова И. М.
Language:	Russian
Published:	Ленинград, Наука, 1972
Subjects:	получение тонкие пленки электрофизические свойства растворы окисление разложение напыление диффузия примеси кремний способы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=93605

Similar Items

Тонкие пленки и их применение материалы II республиканской конференции, Вильнюс, 2-4 декабря 1968 г.
Published: (Вильнюс, [Б. и.], 1969)

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
by: Румак Н. В. Николай Владимирович
Published: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
by: Терехов А. И.
Published: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Тонкие пленки, их изготовление и измерение пер. с нем.
by: Метфессель С.
Published: (Москва, Госэнергоиздат, 1963)

Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение монография
Published: (Кишинев, Штиинца, 1989)

Тонкие ферромагнитные пленки пер. с англ.
by: Праттон М.
Published: (Ленинград, Судостроение, 1967)

Тонкие магнитные пленки пер. с англ., нем.
Published: (Киев, Государственное издательство технической литературы УССР, 1963)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
by: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Полупроводниковые соединения А III B V пер. с англ.
Published: (Москва, Металлургия, 1967)

Нитевидные кристаллы и тонкие пленки. Ч. 2: Тонкие пленки материалы II Всесоюзной научной конференции, Воронеж, июнь 1974
Published: (Воронеж, [Б. и.], 1975)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде
by: Строкань Г. П.
Published: (2003)

Тонкие пленки на основе HfO2 и Y2O3, полученные из гидролизующихся растворов
by: Борило Л. П.
Published: (2004)

Тонкие пленки и их применение материалы I республиканской конференции
Published: (Вильнюс, [Б. и.], 1968)

Вып. 5
Published: (1979)

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
by: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1978)

Вып. 4
Published: (1978)

Тонкие ферромагнитные пленки пер. с нем.
Published: (Москва, Мир, 1964)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Published: (Томск, 2005)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот
by: Слуцкая В. В. Валентина Викторовна
Published: (Москва, Советское радио, 1967)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике
by: Иванов Р. Д. Роберт Дмитриевич
Published: (Москва, Советское радио, 1980)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, 2018)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1983)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура учебное пособие
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Физические явления в технологии микроэлектроники сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1982)

Т. 3 : Тонкие диэлектрические пленки
Published: (1973)

Магнитные тонкие пленки пер. с англ.
by: Суху Р.
Published: (Москва, Мир, 1967)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Тонкие пленки Взаимная диффузия и реакции пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1982)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1969)

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Published: (Москва, Советское радио, 1975)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.11
by: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Published: (Томск, 2024)

Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co
by: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Published: (2012)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов Ta2O5-La2O3 диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.11 02.00.04
by: Лисеенко О. В. Ольга Владимировна
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Зарядовые свойства МОП-структур
by: Гурский Л. И. Леонид Ильич
Published: (Минск, Наука и техника, 1980)

Система кремний - двуокись кремния в МОП-структурах
by: Румак Н. В. Николай Владимирович
Published: (Минск, Наука и техника, 1986)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов Ta2O5-La2O3 автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.11, 02.00.04
by: Лисеенко О. В. Ольга Владимировна
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Наноматериалы. Основы теории симметрии наноструктурных состояний. Тонкие пленки алмазоподобных материалов как наноструктурированные системы монография на основе расширенных пленарных докладов XII Международной научно-технической конференции; Москва, 7-9 сентября, 2006 г.
Published: (Москва, ЦНИТИ "Техномаш", 2006)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках
by: Лязгин А. О.
Published: (2009)