Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике

Bibliographic Details
Corporate Author:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова (ИХС)
Other Authors:	Борисенко А. И. Анатолий Исидорович, Новиков В. В., Приходько Н. Е., Митникова И. М.
Language:	Russian
Published:	Ленинград, Наука, 1972
Subjects:	получение тонкие пленки электрофизические свойства растворы окисление разложение напыление диффузия примеси кремний способы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=93605

Similar Items

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
by: Румак Н. В. Николай Владимирович
Published: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Тонкие пленки и их применение: материалы II республиканской конференции, Вильнюс, 2-4 декабря 1968 г.
Published: (Вильнюс, [Б. и.], 1969)

Тонкие пленки, их изготовление и измерение: пер. с нем.
by: Метфессель С.
Published: (Москва, Госэнергоиздат, 1963)

Технологические основы изготовления интегральных микросхем учебное пособие
by: Терехов А. И.
Published: (Иваново, ИГЭУ, 2018)

Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение: монография
Published: (Кишинев, Штиинца, 1989)

Тонкие ферромагнитные пленки: пер. с англ.
by: Праттон М.
Published: (Ленинград, Судостроение, 1967)

Полупроводниковые пленки и слоистые структуры
Published: (Киев, Наукова думка, 1977)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
by: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Published: (Москва, Энергия, 1979)

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
by: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Published: (Минск, Наука и техника, 1978)

Полупроводниковые соединения А III B V: пер. с англ.
Published: (Москва, Металлургия, 1967)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6
by: Строкань Г. П.
Published: (2003)

Тонкие магнитные пленки: пер. с англ., нем.
Published: (Киев, Государственное издательство технической литературы УССР, 1963)

Нитевидные кристаллы и тонкие пленки. Ч. 2: Тонкие пленки: материалы II Всесоюзной научной конференции, Воронеж, июнь 1974
Published: (Воронеж, [Б. и.], 1975)

Тонкие пленки и многослойные материалы для электроники: учебное пособие
by: Панин А. В. Алексей Викторович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2002)

Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот
by: Слуцкая В. В. Валентина Викторовна
Published: (Москва, Советское радио, 1967)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике
by: Иванов Р. Д. Роберт Дмитриевич
Published: (Москва, Советское радио, 1980)

Тонкие пленки и их применение: материалы I республиканской конференции
Published: (Вильнюс, [Б. и.], 1968)

Тонкие пленки на основе HfO2 и Y2O3, полученные из гидролизующихся растворов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 5
by: Борило Л. П.
Published: (2004)

Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1979)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1983)

Вып. 4; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1978)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Тонкие ферромагнитные пленки: пер. с нем.
Published: (Москва, Мир, 1964)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
by: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2005)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
by: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2005)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Published: (Томск, 2005)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Т. 1: Теоретические основы; Окисление металлов
Published: (1968)

Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов
Published: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1982)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, 2018)

Тонкие пленки; Взаимная диффузия и реакции: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1982)

Магнитные тонкие пленки: пер. с англ.
by: Суху Р.
Published: (Москва, Мир, 1967)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Тонкие плёнки с разупорядоченной структурой для электроники; Современные техника и технологии
by: Калистратов С. В.
Published: (2000)

Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия: пер. с англ.
Published: (Москва, Мир, 1969)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
by: Петрова Ю. С. Юлианна Сергеевна
Published: (Томск, 2024)

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Published: (Москва, Советское радио, 1975)

Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co; Химия и технология полимерных и композиционных материалов
by: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Published: (2012)

Технология и физико-химические свойства тонкопленочных материалов на основе двойных оксидов Ta2O5-La2O3: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11; 02.00.04
by: Лисеенко О. В. Ольга Владимировна
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)