Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике

Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике

Dettagli Bibliografici
Ente Autore:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова (ИХС)
Altri autori:	Борисенко А. И. Анатолий Исидорович, Новиков В. В., Приходько Н. Е., Митникова И. М.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Ленинград, Наука, 1972
Soggetti:	получение тонкие пленки электрофизические свойства растворы окисление разложение напыление диффузия примеси кремний способы
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=93605

Documenti analoghi

Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике
di: Румак Н. В. Николай Владимирович
Pubblicazione: (Минск, Навука i тэхнiка, 1990)

Тонкие пленки и их применение: материалы II республиканской конференции, Вильнюс, 2-4 декабря 1968 г.
Pubblicazione: (Вильнюс, [Б. и.], 1969)

Тонкие пленки, их изготовление и измерение: пер. с нем.
di: Метфессель С.
Pubblicazione: (Москва, Госэнергоиздат, 1963)

Тонкие пленки антимонида индия: получение, свойства, применение: монография
Pubblicazione: (Кишинев, Штиинца, 1989)

Тонкие ферромагнитные пленки: пер. с англ.
di: Праттон М.
Pubblicazione: (Ленинград, Судостроение, 1967)

Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике
di: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Pubblicazione: (Минск, Наука и техника, 1978)

Магнитные металлические пленки в микроэлектронике
di: Иванов Р. Д. Роберт Дмитриевич
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1980)

Тонкие магнитные пленки: пер. с англ., нем.
Pubblicazione: (Киев, Государственное издательство технической литературы УССР, 1963)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6
di: Строкань Г. П.
Pubblicazione: (2003)

Нитевидные кристаллы и тонкие пленки. Ч. 2: Тонкие пленки: материалы II Всесоюзной научной конференции, Воронеж, июнь 1974
Pubblicazione: (Воронеж, [Б. и.], 1975)

Тонкие пленки и их применение: материалы I республиканской конференции
Pubblicazione: (Вильнюс, [Б. и.], 1968)

Тонкие пленки и многослойные материалы для электроники: учебное пособие
di: Панин А. В. Алексей Викторович
Pubblicazione: (Томск, Изд-во ТПУ, 2002)

Тонкие пленки в технике сверхвысоких частот
di: Слуцкая В. В. Валентина Викторовна
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1967)

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе
di: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1979)

Полупроводниковые пленки и слоистые структуры
Pubblicazione: (Киев, Наукова думка, 1977)

Тонкие поликристаллические и аморфные пленки. Физика и применения: пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1983)

Тонкие пленки на основе HfO2 и Y2O3, полученные из гидролизующихся растворов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 5
di: Борило Л. П.
Pubblicazione: (2004)

Тонкие ферромагнитные пленки: пер. с нем.
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1964)

Тонкие пленки неорганических материалов: механизм роста и структура: учебное пособие
di: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Pubblicazione: (Воронеж, Изд-во Воронежского гос. ун-та, 2008)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
di: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2005)

Полупроводниковые соединения А III B V: пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Металлургия, 1967)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
di: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2005)

Тонкие пленки; Взаимная диффузия и реакции: пер. с англ.
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1982)

Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
di: Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Pubblicazione: (Томск, 2005)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2018)

Магнитные тонкие пленки: пер. с англ.
di: Суху Р.
Pubblicazione: (Москва, Мир, 1967)

Тонкие плёнки с разупорядоченной структурой для электроники; Современные техника и технологии
di: Калистратов С. В.
Pubblicazione: (2000)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Pubblicazione: (Томск, 2018)

Т. 1: Теоретические основы; Окисление металлов
Pubblicazione: (1968)

Вып. 4; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Pubblicazione: (1978)

Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Pubblicazione: (1979)

Наноструктурированные слои и тонкие пленки на основе оксида цинка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Исмаилов Д. В. Данияр Валерьевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2018)

Т. 3 : Тонкие диэлектрические пленки; Физика диэлектриков и перспективы ее развития
Pubblicazione: (1973)

Тонкие пленки диоксида титана как просветляющий слой для низкоэмисионного покрытия; Перспективы развития фундаментальных наук
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (2013)

Вакуумное нанесение тонких пленок
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1967)

Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co; Химия и технология полимерных и композиционных материалов
di: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Pubblicazione: (2012)

Физические явления в технологии микроэлектроники: сборник научных трудов
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МИЭТ, 1982)

Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме
Pubblicazione: (Москва, Советское радио, 1975)

Полупроводниковые пленки для микроэлектроники
Pubblicazione: (Новосибирск, Наука, 1977)

Эпитаксиальные пленки
di: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1971)