Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике

Bibliographic Details
Corporate Author:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова (ИХС)
Other Authors:	Борисенко А. И. Анатолий Исидорович, Новиков В. В., Приходько Н. Е., Митникова И. М.
Published:	Ленинград, Наука, 1972
Subjects:	получение тонкие пленки электрофизические свойства растворы окисление разложение напыление диффузия примеси кремний способы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=93605

Similar Items