Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике

Dades bibliogràfiques
Autor corporatiu:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова (ИХС)
Altres autors:	Борисенко А. И. Анатолий Исидорович, Новиков В. В., Приходько Н. Е., Митникова И. М.
Idioma:	rus
Publicat:	Ленинград, Наука, 1972
Matèries:	получение тонкие пленки электрофизические свойства растворы окисление разложение напыление диффузия примеси кремний способы
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=93605

Ítems similars