|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
93605 |
| 005 |
20231031105252.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\100217
|
| 090 |
|
|
|a 93605
|
| 100 |
|
|
|a 20060330d1972 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике
|f А. И. Борисенко [и др.]
|g Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова; Академия Наук СССР
|
| 210 |
|
|
|a Ленинград
|c Наука
|d 1972
|
| 215 |
|
|
|a 114 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце книги.
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a электрофизические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a растворы
|
| 610 |
1 |
|
|a окисление
|
| 610 |
1 |
|
|a разложение
|
| 610 |
1 |
|
|a напыление
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a способы
|
| 675 |
|
|
|a 621.385
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Борисенко
|b А. И.
|g Анатолий Исидорович
|
| 701 |
|
1 |
|a Новиков
|b В. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Приходько
|b Н. Е.
|
| 701 |
|
1 |
|a Митникова
|b И. М.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР (АН СССР)
|b Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова (ИХС)
|c (Ленинград)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11534
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060330
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201001
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
