Тонкие нерганические пленки в микроэлектронике

Bibliografski detalji
Autor kompanije:	Академия наук СССР (АН СССР) Институт химии силикатов им. И. В. Гребенщикова (ИХС)
Daljnji autori:	Борисенко А. И. Анатолий Исидорович, Новиков В. В., Приходько Н. Е., Митникова И. М.
Jezik:	ruski
Izdano:	Ленинград, Наука, 1972
Teme:	получение тонкие пленки электрофизические свойства растворы окисление разложение напыление диффузия примеси кремний способы
Format:	Knjiga
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=93605

Opis
Opis fizičkog objekta:	114 с. ил.

Slični predmeti