Вакуумная техника в производстве интегральных схем
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Yhteenveto: | Загл. указано на пер. |
| Kieli: | venäjä |
| Julkaistu: |
Москва, Энергия, 1972
|
| Aiheet: | |
| Aineistotyyppi: | Kirja |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=92109 |