Вакуумная техника в производстве интегральных схем
| Autor principal: | |
|---|---|
| Sumari: | Загл. указано на пер. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
Москва, Энергия, 1972
|
| Matèries: | |
| Format: | Llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=92109 |