Вакуумная техника в производстве интегральных схем
| Main Author: | |
|---|---|
| Summary: | Загл. указано на пер. |
| Published: |
Москва, Энергия, 1972
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=92109 |