|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
92109 |
| 005 |
20231031104517.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\98709
|
| 090 |
|
|
|a 92109
|
| 100 |
|
|
|a 20060307d1972 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Вакуумная техника в производстве интегральных схем
|f Б. С. Данилин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергия
|d 1972
|
| 215 |
|
|
|a 256 с.
|c ил.
|
| 300 |
|
|
|a Загл. указано на пер.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 245-254
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумная техника
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки тонкие
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a термическое осаждение
|
| 675 |
|
|
|a 539.216
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060307
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20100826
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
