Вакуумная техника в производстве интегральных схем

Вакуумная техника в производстве интегральных схем

Detaylı Bibliyografya
Yazar: Данилин Б. С. Борис Степанович
Özet:Загл. указано на пер.
Dil:Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi: Москва, Энергия, 1972
Konular:
вакуумная техника
интегральные схемы
пленки тонкие
получение
применение
микроэлектронные схемы
производство
термическое осаждение
Materyal Türü: Kitap
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=92109
Diğer Bilgiler
Fiziksel Özellikler:256 с. ил.
Özet:Загл. указано на пер.

Benzer Materyaller