Вакуумная техника в производстве интегральных схем
| Автор: | |
|---|---|
| Резюме: | Загл. указано на пер. |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Москва, Энергия, 1972
|
| Предмети: | |
| Формат: | Книга |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=92109 |
| Фізичний опис: | 256 с. ил. |
|---|---|
| Резюме: | Загл. указано на пер. |