Вакуумная техника в производстве интегральных схем

Вакуумная техника в производстве интегральных схем

Bibliographic Details
Main Author: Данилин Б. С. Борис Степанович
Summary:Загл. указано на пер.
Published: Москва, Энергия, 1972
Subjects:
вакуумная техника
интегральные схемы
пленки тонкие
получение
применение
микроэлектронные схемы
производство
термическое осаждение
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=92109
Description
Physical Description:256 с. ил.
Summary:Загл. указано на пер.

Similar Items