Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Bibliographic Details
Main Author: Достанко А. П.
Other Authors: Аваков С. М., Агеев О. А., Батура М. П.
Summary:Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокоча стотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Книга из коллекции Белорусская наука - Инженерно-технические науки
Published: Минск, Белорусская наука, 2016
Subjects:
удаление загрязнений с микропрофильных поверхностей
автоматизированные технологические комплексы
ультразвуковые технологические системы
оптико-электронных изделий
микр-рорельефных поверхностей
конструктивные особенности свч-разрядных систем
Online Access:https://e.lanbook.com/book/90482
https://e.lanbook.com/img/cover/book/90482.jpg
Format: Electronic Book

Similar Items

Similar Items