Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Summary: | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокоча стотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов. Книга из коллекции Белорусская наука - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Минск, Белорусская наука, 2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/90482 https://e.lanbook.com/img/cover/book/90482.jpg |
| Format: | Electronic Book |
