Электромеханические микроустройства
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов. Книга из коллекции Белорусская наука - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Минск, Белорусская наука, 2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/90470 https://e.lanbook.com/img/cover/book/90470.jpg |
| Format: | Electronic Book |
