|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
90412 |
| 005 |
20231031103503.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\96952
|
| 090 |
|
|
|a 90412
|
| 100 |
|
|
|a 20060209d1981 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Легирование полупроводников методом ядерных реакций
|f Л. С. Смирнов [и др.]
|g Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников (АН СССР СО ИФП) ; под ред. Л. С. Смирнова
|
| 210 |
|
|
|a Новосибирск
|c Наука
|d 1981
|
| 215 |
|
|
|a 182 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце гл.
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники легированные
|
| 610 |
1 |
|
|a радиационные дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a кристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a реакции ядерные
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 675 |
|
|
|a 621.315.59
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Смирнов
|b Л. С.
|g Леонид Степанович
|
| 701 |
|
1 |
|a Соловьев
|b С. П.
|g Сергей Петрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Стась
|b В. Ф.
|g Владимир Федосеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Харченко
|b В. А.
|g Вячеслав Александрович
|
| 702 |
|
1 |
|a Смирнов
|b Л. С.
|g Леонид Степанович
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Академия наук СССР
|b Сибирское отделение
|b Институт физики полупроводников (АН СССР СО ИФП)
|c (Новосибирск)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\11385
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060209
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20220310
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
