Легирование полупроводников методом ядерных реакций

Bibliographic Details
Corporate Author:	Академия наук СССР Сибирское отделение Институт физики полупроводников (АН СССР СО ИФП)
Other Authors:	Смирнов Л. С. Леонид Степанович (340), Соловьев С. П. Сергей Петрович, Стась В. Ф. Владимир Федосеевич, Харченко В. А. Вячеслав Александрович
Published:	Новосибирск, Наука, 1981
Subjects:	легирование полупроводники легированные радиационные дефекты кристаллы реакции ядерные кремний
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=90412

Similar Items