Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
| Parent link: | Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах.— 2002.— С. 16-18 |
|---|---|
| Glavni autor: | |
| Daljnji autori: | , |
| Jezik: | ruski |
| Izdano: |
2002
|
| Teme: | |
| Format: | Poglavlje knjige |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=90060 |