Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига
| Parent link: | Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах: труды III Международной конференции , Томск, 29 июля - 3 августа 2002 г./ Российская Академия естественных наук; Томский политехнический университет; Алтайский государственный технический университет; Бурятский научный центр. С. 16-18.— , 2002 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Published: |
2002
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=90060 |