Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Bibliographic Details
Main Author:	Папков В. С. Владимир Сергеевич
Other Authors:	Цыбульников М. Б. Марк Борисович (редактор), Малинин А. Ю.
Language:	Russian
Published:	Москва, Энергия, 1979
Subjects:	кремний подложки диэлектрические подложки электрофизические свойства полупроводниковые пленки получение применение
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=85199

Similar Items

Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
by: Гиваргизов Е. И. Евгений Инвиевич
Published: (Москва, Наука, 1988)

Эпитаксиальные слои GaN на кремниевых подложках для AlGaN/GaN гетероструктур с высокой подвижностью электронов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.11
by: Малин Т. В. Тимур Валерьевич
Published: (Новосибирск, 2025)

Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.10
by: Милахин Д. С. Денис Сергеевич
Published: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)

Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
Published: (Новосибирск, [Б. и.], 1973)

Эпитаксиальные пленки
by: Палатник Л. С. Лев Самойлович
Published: (Москва, Наука, 1971)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Лязгин А. О.
Published: (2009)

Радиационная модификация углеродных наноструктур; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
by: Цыганов И. А.
Published: (2011)

Методы контроля нарушенных слоев при механической обработке монокристаллов
Published: (Москва, Энергия, 1978)

Неразрушающий метод локального измерения диэлектрических потерь подложек интегральных схем на СВЧ; Дефектоскопия; № 8
by: Дувинг В. Г.
Published: (2005)

Структурные и морфологические трансформации слоистых халькогенидов металлов при эпитаксиальном росте: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.8
by: Пономарев С. А. Сергей Артемьевич
Published: (Новосибирск, 2025)

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Лязгин А. О.
Published: (2010)

Исследование морфологии и спектральных свойств гетерокомпозиций GESI/SI, полученных методом молекулярно-лучевой эпитаксии: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 01.04.15
by: Лапин В. А. Вячеслав Анатольевич
Published: (Нальчик, 2013)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Томск, 2023)

The effect of Si content on structure and mechanical features of silicon-containing calcium phosphorus-based films deposited by rf-magnetron sputtering on titanium substrate treated by pulsed electron beam; The 9th International Forum on Strategic Techology (IFOST-2014), September 21-23, 2014, Cox's Bazar, Bangladesh
Published: (2014)

Импульсная люминесцентная спектрометрия эпитаксиальных слоев GaN, выращенных на подложках AL2O3; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Сычева А. В.
Published: (2014)

Использование стекла в композиционной керамике на основе нитрида алюминия; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Тарновский Р. В.
Published: (2014)

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Published: ()

Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник
by: Литовченко В. Г. Владимир Григорьевич
Published: (Киев, Наукова думка, 1978)

Тонкопленочная технология: пер. с англ.
by: Берри Р.
Published: (Москва, Энергия, 1972)

Режимы испарения капли воды на медных подложках; Коллоидный журнал; Т. 78, № 3
Published: (2016)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Published: (2013)

Channeling of 20-35 MeV electrons in Si substrates of multilayer structures; RReps'11. Radiation from Relativistic Electrons in Periodic Structures
by: Kaplin V. V. Valeriy Viktorovich
Published: (2011)

Измерение сопротивления контактов металл-полупроводник и контроль удельного сопротивления полупроводниковых пленок; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 7
by: Филлипов В. В.
Published: (2003)

Ионно-электронно-плазменная модификация системы "покрытие (TiZrCu)\подложка (Al-(22-24)%Si)"; Современные технологии и материалы новых поколений
Published: (2017)

Переходные области эпитаксиальных полупроводниковых пленок: монография
by: Александров Л. Н. Леонид Наумович
Published: (Новосибирск, Наука, 1978)

Испарение капель воды на медных подложках; Неделя науки СПбПУ; Ч. 1
by: Батищева К. А. Ксения Артуровна
Published: (2015)

Технология эпитаксиальных слоев арсенида галлия и приборы на их основе
by: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Published: (Москва, Энергия, 1974)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
Published: (2016)

Исследование полупроводниковых пленок Cu2S методами атомно-силовой микроскопии; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Дронова М. В.
Published: (2014)

Методики получения металлических наноструктур на поликарбонатных подложках; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Дуброва Н. А. Наталья Александровна
Published: (2009)

Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
by: Luchin A. V.
Published: (2019)

Численное исследование механического поведения композита "керамическое пористое покрытие - поликристаллическая стальная подложка"; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Published: (2015)

Упорядоченные массивы нанокристаллов диоксида ванадия с обратимым фазовым переходом полупроводник-металл на наноструктурах кремния: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
by: Мутилин С. В. Сергей Владимирович
Published: (Новосибирск, [Б. и.], 2022)

Самоформирование ситемы высокоупорядоченных наноостровков германия при эпитаксии на профилированные кремниевые (111) подложки в условиях электропереноса; Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 75, вып. 1-2
by: Закурдаев И. В.
Published: (2002)

Изготовление слоев изотопически чистых актиноидных элементов на различных подложках методом ионной имплантации; Изотопы: технологии, материалы и применение
Published: (2017)

Формирование нанопроводов оксида цинка на подложках с развитой поверхностью для газочувствительных слоёв; Химия и химическая технология в XXI веке
by: Иванова А. А.
Published: (2018)

Влияние режимов облучения мишеней из гидроксиапатита мощными импульсными ионными пучками на свойства сформированных кальций-фосфатных покрытий; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2013)

Временной отклик фильтра подавления сверхкоротких импульсов в сети электропитания в зависимости от толщины диэлектрической подложки; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Газизов А. Т.
Published: (2015)

Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие
by: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Published: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Разработка метода отделения тонких пленок анодного оксида алюминия от подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
by: Цзи Синьюй
Published: (2023)