• English
    • Deutsch
    • Español
    • Français
    • Italiano
    • 日本語
    • Nederlands
    • Português
    • Português (Brasil)
    • 中文(简体)
    • 中文(繁體)
    • Türkçe
    • עברית
    • Gaeilge
    • Cymraeg
    • Ελληνικά
    • Català
    • Euskara
    • Русский
    • Čeština
    • Suomi
    • Svenska
    • polski
    • Dansk
    • slovenščina
    • اللغة العربية
    • বাংলা
    • Galego
    • Tiếng Việt
    • Hrvatski
    • हिंदी
    • Հայերէն
    • Українська
Advanced
  • Эпитаксиальные кремниевые слои...
  • Cite this
  • Text this
  • Email this
  • Print
  • Export Record
    • Export to RefWorks
    • Export to EndNoteWeb
    • Export to EndNote
  • Permanent link
Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Bibliographic Details
Main Author: Папков В. С. Владимир Сергеевич
Other Authors: Цыбульников М. Б. Марк Борисович (340), Малинин А. Ю.
Language:Russian
Published: Москва, Энергия, 1979
Subjects:
кремний
подложки
диэлектрические подложки
электрофизические свойства
полупроводниковые пленки
получение
применение
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=85199
  • Holdings
  • Description
  • Similar Items
  • Staff View

Similar Items

  • Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники
    by: Гиваргизов Е. И. Евгений Инвиевич
    Published: (Москва, Наука, 1988)
  • Эпитаксиальные слои GaN на кремниевых подложках для AlGaN/GaN гетероструктур с высокой подвижностью электронов автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.11
    by: Малин Т. В. Тимур Валерьевич
    Published: (Новосибирск, 2025)
  • Особенности формирования AIN на подложке сапфира в процессе нитридизации методом молекулярно-лучевой эпитаксии автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.10
    by: Милахин Д. С. Денис Сергеевич
    Published: (Новосибирск, [Б. и.], 2021)
  • Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
    by: Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
    Published: (Новосибирск, [Б. и.], 1973)
  • Эпитаксиальные пленки
    by: Палатник Л. С. Лев Самойлович
    Published: (Москва, Наука, 1971)