Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе

Bibliographic Details
Main Author:	Папков В. С. Владимир Сергеевич
Other Authors:	Цыбульников М. Б. Марк Борисович (340), Малинин А. Ю.
Language:	Russian
Published:	Москва, Энергия, 1979
Subjects:	кремний подложки диэлектрические подложки электрофизические свойства полупроводниковые пленки получение применение
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=85199

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	85199
005	20231031100932.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\91542
090			\|a 85199
100			\|a 20051110d1970 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Эпитаксиальные кремниевые слои на диэлектрических подложках и приборы на их основе \|f В. С. Папков, М. Б. Цыбульников \|g под ред. А. Ю. Малинина
210			\|a Москва \|c Энергия \|d 1979
215			\|a 89 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 85-88.
610	1		\|a кремний
610	1		\|a подложки
610	1		\|a диэлектрические подложки
610	1		\|a электрофизические свойства
610	1		\|a полупроводниковые пленки
610	1		\|a получение
610	1		\|a применение
675			\|a 621.315.592 \|v 3
700		1	\|a Папков \|b В. С. \|g Владимир Сергеевич
701		1	\|a Цыбульников \|b М. Б. \|g Марк Борисович
702		1	\|a Малинин \|b А. Ю. \|4 340
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20051110 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150416 \|g PSBO
942			\|c BK