Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии

Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии

Dades bibliogràfiques
Altres autors:	Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич, Новиков А. П. Александр Петрович, Соловьев В. С. Валерий Сергеевич, Ширяев С. Ю. Сергей Юрьевич
Idioma:	rus
Publicat:	Минск, Университетское, 1990
Matèries:	Кремний > Кристаллическая структура дефекты легирование твердые тела ионы торможение отжиг ионные пучки
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=77665

Ítems similars

Исследование процессов отжига радиационных дефектов некоторых неорганических диэлектриков. Диэлектрик: [Отчет о НИР]
Publicat: (Томск, 1969)

Аморфный кремний и родственные материалы: пер. с англ.
Publicat: (Москва, Мир, 1991)

Наноразмерные изменения структуры ионно-облученных кристаллов кремния на глубинах, превышающих пробег внедряемых ионов; Письма в Журнал технической физики; Т. 28, вып. 14
Publicat: (2002)

Разработка ионно-пучковых методов модификации свойств алюминиевых сплавов на основе использования радиационно-динамических эффектов: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
per: Можаровский С. М. Сергей Михайлович
Publicat: (Томск, 2011)

Разработка ионно-пучковых методов модификации свойств алюминиевых сплавов на основе использования радиационно-динамических эффектов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
per: Можаровский С. М. Сергей Михайлович
Publicat: (Томск, 2011)

High Intensive Short Pulsed Ions Implantation Effect on Electrical and Photoelectrical Properties of Polycrystalline Silicon; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-3
per: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Publicat: (2012)

Температуры и давления в кремнии при облучении мощным ионным пучком; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
per: Абдрахманов Т. Р.
Publicat: (2009)

Дефекты в металлах
per: Суворов А. Л. Александр Леонидович
Publicat: (Москва, Наука, 1984)

Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом: [Лекции]; пер. с англ.
Publicat: (Москва, Высшая школа, 1994)

Электромеханическая прочность ионных кристаллов при импульсном облучении плотными пучками электронов в сверхсильных электрических полях: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; Спец. 01.04.07.
per: Трофимов В. А. Виктор Алексеевич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1983)

Структура и механические свойства твердых растворов замещения
per: Панин В. Е. Виктор Евгеньевич
Publicat: (Москва, Металлургия, 1971)

Точечные дефекты в твердых телах: Сборник статей
Publicat: (Москва, Мир, 1979)

Дефекты в кремнии и на его поверхности
per: Вавилов В. С. Виктор Сергеевич
Publicat: (Москва, Наука, 1990)

Влияние различных видов отжига на концентрационные профили ионов кремния, имплантированных в арсенид галлия; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
per: Чернявский А. В. Александр Викторович
Publicat: (2011)

Макроскопические дефекты кристаллической структуры и свойства материалов
per: Левицкий Ю. Т. Юрий Тимофеевич
Publicat: (Москва, Наука, 1988)

Отжиг радиационных дефектов в n-GaAs; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 10
per: Пешев В. В.
Publicat: (2004)

Изменение состояний примесей и соответствующих силовых полей в кремнии после высокотемпературных циклических отжигов; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 124, вып. 5
Publicat: (2003)

Монокристалличекий кремний солнечного качества; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
per: Смольников Н. В.
Publicat: (2018)

Радиационные эффекты в монокристаллах: [монография]
Publicat: (Ташкент, Фан, 1972)

Т. 2: Гл. 3-я, 4-я, 5-я; Действие облучения на ионные структуры (черновик )
Publicat: (1961)

Использование ядерного легирования для получения высокоомного кремния; Изотопы: технологии, материалы и применение
per: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
Publicat: (2016)

Ионно-активированная кристаллизация пленок
per: Лютович А. С.
Publicat: (Ташкент, Фан, 1982)

Структура и свойства чугунов, легированных медью после графитизирующего отжига; Современные технологии и материалы новых поколений
Publicat: (2017)

Легирование полупроводников методом ядерных реакций
Publicat: (Новосибирск, Наука, 1981)

Методы ядерного анализа твердого тела на пучках заряженных частиц: учебное пособие
per: Крючков Ю. Ю. Юрий Юрьевич
Publicat: (Томск, Изд-во ТПУ, 2003)

Разработка ионно-пучковых методов модификации свойств алюминиевых сплавов на основе использования радиационно-динамических эффектов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
per: Можаровский С. М. Сергей Михайлович
Publicat: (Томск, 2011)

Ионно-плазменная обработка материалов
per: Ивановский Г. Ф. Геннадий Фомич
Publicat: (Москва, Радио и связь, 1986)

Модификация и формирование наноструктурированных слоёв при воздействии мощного ионного пучка наносекундной длительности; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Publicat: (2011)

Нейтронное трансмутационное легирование полупроводников: пер. с англ.
Publicat: (Москва, Мир, 1982)

Влияние легирования сурьмой на электронную структуру [SnO2]; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 7
Publicat: (2004)

Дефекты кристаллической структуры и свойства металлов и сплавов: учебное пособие
per: Соколов Л. Д.
Publicat: (Горький, Изд-во ГПИ, 1983)

Исследование взаимодействия дефектов в ионных кристаллах: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
per: Ликай Л. П.
Publicat: (Томск, [Б. и.], 1980)

The Synthesis of Gallium Arsenide Films on Silicon Substrate by Ionics Ablation; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-2
per: Kabyshev A. V. Alexander Vasilievich
Publicat: (2012)

Точечные дефекты в металлах: пер. с англ.
per: Дамаск А.
Publicat: (Москва, Мир, 1966)

Моделирование современных перспективных кремниевых технологий, основанных на управлении процессами кластеризации и преципитации кислорода в кремнии: учебно-методический комплекс
per: Светухин В. В.
Publicat: (Ульяновск, УлГУ, 2006)

Лазерная масс-спектрометрия
per: Быковский Ю. А. Юрий Алексеевич
Publicat: (Москва, Энергоатомиздат, 1985)

Исследование высокоинтенсивной имплантации ионов титана в кремний в условиях энергетического воздействия пучка на поверхность; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Publicat: (2024)

Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии: [монография]; пер. с англ.
per: Рейви К.
Publicat: (Москва, Мир, 1984)

Технология ионного легирования: пер. с яп.
Publicat: (Москва, Советское радио, 1974)

Вопросы взаимодействия атомных частиц с твердым телом: [сборник статей]
Publicat: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1979)