Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии

Bibliographic Details
Other Authors:	Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич, Новиков А. П. Александр Петрович, Соловьев В. С. Валерий Сергеевич, Ширяев С. Ю. Сергей Юрьевич
Language:	Russian
Published:	Минск, Университетское, 1990
Subjects:	дефекты легирование твердые тела ионы торможение отжиг ионные пучки
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=77665

Similar Items