Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии

Dades bibliogràfiques
Altres autors:	Комаров Ф. Ф. Фадей Фадеевич, Новиков А. П. Александр Петрович, Соловьев В. С. Валерий Сергеевич, Ширяев С. Ю. Сергей Юрьевич
Idioma:	rus
Publicat:	Минск, Университетское, 1990
Matèries:	Кремний > Кристаллическая структура дефекты легирование твердые тела ионы торможение отжиг ионные пучки
Format:	MixedMaterials Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=77665

Ítems similars