|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
77665 |
| 005 |
20231101212939.0 |
| 010 |
|
|
|a 5785501929
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\83266
|
| 090 |
|
|
|a 77665
|
| 100 |
|
|
|a 20050525d1990 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a BY
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии
|f Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, В. С. Соловьев, С. Ю. Ширяев
|
| 210 |
|
|
|a Минск
|c Университетское
|d 1990
|
| 215 |
|
|
|a 320 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 293-318
|
| 606 |
1 |
|
|a Кремний
|x Кристаллическая структура
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\80354
|9 88079
|
| 610 |
1 |
|
|a дефекты
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 610 |
1 |
|
|a торможение
|
| 610 |
1 |
|
|a отжиг
|
| 610 |
1 |
|
|a ионные пучки
|
| 675 |
|
|
|a 548.736
|v 3
|
| 701 |
|
1 |
|a Комаров
|b Ф. Ф.
|g Фадей Фадеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Новиков
|b А. П.
|g Александр Петрович
|
| 701 |
|
1 |
|a Соловьев
|b В. С.
|g Валерий Сергеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Ширяев
|b С. Ю.
|g Сергей Юрьевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050525
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200904
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
