|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
77542 |
| 005 |
20231031093045.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\83143
|
| 090 |
|
|
|a 77542
|
| 100 |
|
|
|a 20050524d2005 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drbn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала
|b Электронный ресурс
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|f И. А. Чистоедова
|g Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники; науч. рук.: С. В. Смирнов
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|d 2005
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (414 Kb)
|
| 230 |
|
|
|a Электронные текстовые данные (1 файл : 414 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\82087
|t Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 05.17.11
|f И. А. Чистоедова
|g Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники; науч. рук. С. В. Смирнов
|c Томск
|n Б.и.
|d 2005
|p 19 с.
|a Чистоедова, Инна Анатольевна
|
| 610 |
1 |
|
|a химическая технология
|
| 610 |
1 |
|
|a тантал
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a структура
|
| 610 |
1 |
|
|a свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a исследования
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a соединения тантала
|
| 610 |
1 |
|
|a модификация
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 675 |
|
|
|a 661.88(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 05.17.11
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Чистоедова
|b И. А.
|g Инна Анатольевна
|
| 702 |
|
1 |
|a Смирнов
|b С. В.
|g Серафим Всеволодович
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\376
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20050524
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151113
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2005/1.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
