Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Corporate Author:	Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Other Authors:	Смирнов С. В. Серафим Всеволодович (научный руководитель)
Summary:	Заглавие с титульного экрана Электронная версия печатной публикации
Language:	Russian
Published:	Томск, 2005
Subjects:	химическая технология тантал тонкие пленки получение структура свойства оборудование исследования ионно-плазменное распыление соединения тантала модификация авторефераты диссертаций электронный ресурс труды учёных ТПУ
Online Access:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2005/1.pdf
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=77542

Internet