Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Korporativní autor:	Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Další autoři:	Смирнов С. В. Серафим Всеволодович (научный руководитель)
Shrnutí:	Защита сост. 19.04.2005 г.
Jazyk:	ruština
Vydáno:	Томск, [Б. и.], 2005
Témata:	химическая технология тантал тонкие пленки получение структура свойства оборудование исследования ионно-плазменное распыление соединения тантала модификация авторефераты диссертаций
Médium:	MixedMaterials Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=76585

Podobné jednotky