Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11

Bibliographic Details
Main Author:	Чистоедова И. А. Инна Анатольевна
Corporate Author:	Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Other Authors:	Смирнов С. В. Серафим Всеволодович (научный руководитель)
Summary:	Защита сост. 19.04.2005 г.
Language:	Russian
Published:	Томск, [Б. и.], 2005
Subjects:	химическая технология тантал тонкие пленки получение структура свойства оборудование исследования ионно-плазменное распыление соединения тантала модификация авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=76585

Similar Items